Inspection des arêtes des tranches de semi-conducteurs

Caractéristiques

  • Détection fiable des défauts d'aspect
  • 3 à 5 mm de l'arête de la tranche
  • Système CB haute résolution
  • Détecte particules, fissures, cratères, défauts d'aspect ponctuels et allongés, corrosion, croissance cristalline, encrassements ou défauts de géométrie.
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