Inspection des arêtes des tranches de semi-conducteurs

Le système destiné à inspecter les arêtes des tranches de semi-conducteurs mesure avec une haute précision la surface de la tranche via trois caméras CB. Ceci permet de détecter avec fiabilité les défauts d’aspect aussi gros que 300 nm. Les tranches défectueuses peuvent avoir une influence négative considérable sur les étapes de process ultérieures et interrompre la production.