Mesure optique des briques de silicium

La nouvelle installation permet de contrôler la largeur, la longueur de phase, l’angle et la diagonale des pièces brutes de silicium, également appelées briques. Les briques sous forme de banane posaient souvent des problèmes lors du contrôle manuel. Si, dans une prochaine étape, la tranche doit être débarrassée de zones superflues, celle-ci peut alors se détacher de son support et entraîner ainsi un arrêt prolongé de la scie de découpe.

Pour le contrôle automatique, la société Micro-Epsilon fait appel aux scanners laser de la série scanCONTROL 2800. Quatre capteurs disposés les uns en face des autres détectent la surface entière. La surface de la brique varie du réfléchissant au mat en fonction de son état d’usinage. Le réglage du temps d’exposition du capteur s’effectue pour chaque profil de manière automatique et est fonction du degré de réflexion de la surface. Cette adaptation en temps réel à des propriétés changeantes de réflexion de la surface balayée est impossible pour la grande majorité des scanners traditionnels. Seules les performances exceptionnelles des scanners de Micro-Epsilon leur permettent d’assurer ce contrôle sans difficulté. Le grand savoir-faire et l’expérience des ingénieurs de Micro-Epsilon a permis de réaliser une solution au degré de précision élevé.