Mesure d’épaisseur via capacité

Outre la mesure de distance normale, la mesure d'épaisseur constitue l'une des tâches les plus fréquentes des capteurs de déplacements. En général, il est fait appel à deux capteurs fonctionnant selon le procédé différentiel à partir duquel l’épaisseur d’un objet peut être calculé. Cette fonction est offerte par le système à canaux multiples capaNCDT 6500 dès le modèle en série. Grâce aux fonctions de calcul intégrées, la mesure d’épaisseur peut être directement programmée dans le contrôleur, si bien qu’aucun ordinateur ne s'avère nécessaire par la suite pour les calculs.

Les capteurs capacitifs sont utilisés pour procéder à la mesure d’épaisseur chaque fois que l'objet réfléchit fortement par exemple ou que des speckles font leur apparition avec des capteurs optiques. Grâce à la moyenne de la surface du capteur, il est également possible de mesurer à la perfection contre les surfaces légèrement plus rudes. L’objet de mesure doit être un conducteur métallique ou un semi-conducteur. Le capaNCDT 6500 permet de réaliser une mesure d’épaisseur à 4 endroits car le contrôleur peut être équipé d'un total de 8 canaux. La mesure d’épaisseur capacitive est par exemple utilisée lors de l’inspection des tranches de silicium solaires.

Le système est également utilisé pour procéder à la mesure de fentes. L’application fonctionne dans le sens inverse à la mesure d’épaisseur. Pour ce faire, deux capteurs « Dos à dos » sont introduits dans la fente. L’addition des deux signaux avec l’offset situé à la base permet d’obtenir la largeur de la fente. Des modèles à la physionomie spéciale ont été mis au point pour optimiser la mesure d'épaisseur et de fente.