Système de contrôle géométrique des lingots de silicium

Doté de plusieurs scanners à ligne laser, le système de mesure « dimensionCONTROL 8260 pour lingots » contrôle la surface des lingots et procède à la mesure entièrement automatique des ses dimensions, de ses angles, de ses valeurs de diagonales, tout en contrôlant la planéité de ses surfaces latérales. Le calibrage de l’installation s'effectue automatiquement en fonction de la taille du lingot inséré. Tout écart par rapport à la géométrie de consigne est détecté avec fiabilité puis marqué. Contrairement aux résultats obtenus par contrôle manuel, les résultats obtenus ici se caractérisent par une très bonne reproductibilité.