Mesure d'épaisseur capacitive pour les processus de production exigeants

27/07/2021

Les capteurs capacitifs de Micro-Epsilon mesurent le déplacement et la distance sans contact, mais peuvent également être utilisés pour des mesures précises de l'épaisseur. Les capteurs capaNCDT atteignent des valeurs optimales, notamment en termes de linéarité, de répétabilité et de résolution, et des précisions de l'ordre du submicromètre, même dans les environnements industriels. En raison de leur grande stabilité thermique, des signaux de mesure stables sont également générés à des températures ambiantes variables. 
Chaque capteur capacitif est utilisable sans calibrage complexe avec n'importe quel contrôleur Micro-Epsilon. Les diverses interfaces, analogiques, Ethernet et EtherCAT permettent de se connecter à des machines et systèmes modernes. Les réglages peuvent être effectués via l'interface web conviviale. 
Dans le suivi de production, des capteurs capacitifs mesurent par exemple l'épaisseur du film ou de l'adhésif; installés dans les machines, ils surveillent les déplacements et les positions des outils.

Mesure de haute précision de l'épaisseur des films de batterie

Afin de déterminer l'épaisseur des films de batterie avec une haute précision, des capteurs capacitifs sont utilisés directement dans la ligne de production. A cet effet, les capteurs sont fixés à un cadre de mesure et mesurent le film des deux côtés. Chacun des deux capteurs de déplacement capacitifs fournit un signal de distance haute résolution qui est traité directement dans le contrôleur DT6200 en tant que valeur d'épaisseur mesurée. Étant donné que le spot de mesure des capteurs est plus grand qu'avec les méthodes de mesure optiques, les structures et les irrégularités de la surface sont moyennées. Grâce à leur stabilité à haute température, les capteurs fournissent des valeurs de mesure stables même avec des températures ambiantes fluctuantes.

Le contrôleur multicanal innovant capaNCDT 6200 est utilisé pour une mesure précise de l'épaisseur. Il peut enregistrer et traiter jusqu'à quatre canaux simultanément et calculer les valeurs mesurées. Le système multicanal capaNCDT 6222 est utilisé pour des mesures rapides jusqu'à 20 kHz.

Mesure de haute précision de l'épaisseur de wafers de silicium

Pour la mesure exacte de l'épaisseur des wafers, des capteurs de déplacement capacitifs sont utilisés. Deux capteurs montés face à face détectent l'épaisseur. Des paramètres tels que la déflexion peuvent également être déterminés. La position du wafer dans la fente de mesure peut être modifiée sans influencer la précision de mesure.
Si l'espace d'installation est étroit, des capteurs capacitifs sous forme plane peuvent être utilisés. Ceux-ci sont disponibles à partir d'une hauteur de construction de seulement 4 mm.


 

Avantages

  • La plus haute précision avec une précision subnanométrique
  • Excellente stabilité de température
  • Grande variété d'applications : secteur des semi-conducteurs, mesure de l'entrefer dans les grands moteurs, mesure de la déformation des disques de frein, positionnement de machines
  • Utilisation simple via l'interface Web
  • Contrôleurs modulaires multicanaux synchronisables disponibles

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