Des techniques d’alignement et de positionnement précises sont nécessaires dans la production de wafer afin de produire des puces semi-conductrices de haute qualité. Une étape cruciale ici est la détection d’encoches, dans laquelle la position des encoches (notch) sur le wafer est mesurée avec précision. Ces encoches servent de points de référence pour les étapes ultérieures de traitement et de manipulation.

Les capteurs à fibre optique optoCONTROL CLS1000 sont utilisés pour une détection précise des encoches. Ces capteurs à la pointe de la technologie détectent la position exacte des encoches sur le wafer et permettent ainsi un alignement extrêmement précis. Les capteurs CLS1000 s’imposent ici par leur haute résolution et leur excellente précision dans les mesures de position et de distance. Ils se caractérisent également par leur conception compacte, leur intégration facile et leur grande fiabilité. Grâce à leurs hautes performances, ils constituent une aide essentielle pour la production de puces semi-conductrices sur wafer.

 

Avantages

• Haute résolution et excellente précision pour une détection de position exacte
• Fréquence de détection élevée allant jusqu’à 10 kHz et temps de réponse de 100 µs
• Facile à intégrer dans les systèmes existants
• Têtes de capteur adaptées au vide