Interféromètre à lumière blanche pour la mesure absolue de la distance avec une précision de l’ordre du nanomètre
Le tout dernier interféromètre à lumière blanche IMS5400-DS ouvre de nouvelles perspectives dans la mesure des distances industrielle. Le contrôleur dispose d’une évaluation intelligente et permet des mesures absolues avec une précision de l’ordre du nanomètre pour un écartement de base relativement grand. Comparé à d’autres systèmes optiques de mesure absolue, l’IMS5400-DS offre une combinaison inégalée de précision, de plage de mesure et d’écartement de base.
Caractéristiques
- Mesure de distance précise au nanomètre, adaptée pour mesurer p.ex. les profils de dénivelés
- Mesure de distance multi-peak des objets transparents
- Capteurs compacts et robustes avec un grand écartement de base
- Fréquence de mesure jusqu’à 6 kHz pour des mesures rapides
- Contrôleur robuste avec refroidissement passif
- Configuration conviviale par le biais de l’interface web
- Capteurs compacts également avec trajectoire de rayon de 90°
Mesure de la distance absolue avec une résolution de l’ordre du nanomètre
L’IMS5400-DS est utilisé pour la mesure de déplacement et de distance de haute précision. Contrairement aux interféromètres classiques, l’IMS5400-DS permet également de mesurer de manière stable les profils de dénivelés. Grâce à la mesure absolue, le balayage des niveaux est effectué avec une grande stabilité et précision du signal. Lors de mesures sur des objets en mouvement, les différences de niveau des talons, des dénivelés et des cavités peuvent ainsi être détectées de manière fiable.
Mesure de distance multi-peak
Lors de la mesure de distance multi-peak sur des objets transparents, jusqu'à 14 valeurs de distance sont évaluées simultanément. Cela permet par exemple de déterminer la distance entre le verre et une plaque de support. En outre, le contrôleur peut calculer l'épaisseur du verre à partir des valeurs de distance.
Idéal pour les environnements industriels
Des capteurs robustes et un contrôleur dans un boîtier métallique prédestinent le système à l’intégration dans les lignes de production. Le contrôleur peut être installé dans l’armoire de commande en utilisant un montage sur rail DIN et fournit des résultats de mesure très stables grâce à la compensation active de la température et au refroidissement passif. Les capteurs compacts sont très peu encombrants et peuvent également être intégrés dans des espaces restreints. Les longueurs des câbles à fibres optiques hautement flexibles prolongées jusqu’à 10 m permettent d’obtenir une grande distance entre le capteur et le contrôleur. La mise en service et le paramétrage s’effectuent de manière pratique via une interface web et ne nécessitent aucune installation de logiciel.
Petit spot lumineux pour mesurer les plus petits détails et structures
Les capteurs génèrent un petit point lumineux sur toute la plage de mesure. Le diamètre du spot lumineux n’est que de 10 µm et permet la détection de petits détails tels que les structures sur les semi-conducteurs et les composants électroniques miniaturisés.
Mesure sur de nombreuses surfaces
La méthode de mesure interférométrique permet d’effectuer des mesures sur de nombreuses surfaces et de réaliser des mesures de distance de haute précision sur les métaux, les plastiques et le verre réfléchissants.
NOUVEAU : capteurs également avec trajectoire de rayon 90°
Grâce à leur design compact, les capteurs peuvent être également intégrés dans les espaces d’installation réduits. Les modèles avec trajectoire de rayon à 90° nécessitent nettement moins de profondeur d’installation.
Numerous models for demanding measurement tasks
| Modèle | Plage de mesure / Début de la plage de mesure |
Linéarité | Nombre de couches mesurables |
Domaines d'application |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-DS0,5/90/VAC | 1,5 mm /ca. 0,5 mm | ± 50nm | - | Mesure de distance de haute précision dans un environnement de salle blanche et sous vide, par ex. mesure sur des wafers revêtus. La variante non magnétique en titane UHV permet une utilisation dans des champs magnétiques puissants, par exemple dans la technique médicale (microscope à spin nucléaire ou à faisceau d'électrons) |
| IMS5400-DS10/90/VAC | 1,5 mm / 10 mm | |||
| IMS5400-DS19 | 2,1 mm / env. 19 mm | ±50 nm | - | Mesures de distance industrielles par ex. dans la fabrication de précision |
| IMS5400-DS19/VAC | Tâches de positionnement précises et mesures de distance dans des environnements de salle blanche et sous vide par ex. dans la production d'écrans pour le positionnement de masques | |||
| IMS5400MP-DS19 | Mesure de distance : 2,1 mm / env. 19 mm Mesure d'épaisseur : 0,01 ... 1,3 mm (pour BK7, n=1,5) / env. 19 mm |
±50 nm pour la première distance ±150 nm pour chaque distance supplémentaire |
Jusqu'à 13 couches |
Mesures industrielles de distance et d'épaisseur, par ex. dans la production de verre plat |
| IMS5400MP-DS19/VAC | Mesure précise de distance et d'épaisseur dans des environnements de salle blanche et sous vide par ex. dans la production d'écrans pour la mesure de distance et d'écart |
Unités d'interfaces et de calcul
Interfaces modernes pour l’intégration dans des machines et des installations
Le contrôleur dispose d’interfaces intégrées telles que Ethernet, EtherCAT et RS422 ainsi que des connexions d’encodeur, de sorties analogiques, d’entrées de synchronisation et d’entrées/sorties numériques additionnelles. PROFINET et Ethernet/IP sont disponibles grâce aux modules d’interface Micro-Epsilon. Cela permet d’intégrer l’interféromètre dans tous les systèmes de commande et programmes de production.
