Inspection et mesure haute précision des surfaces hautement réfléchissantes
Les capteurs reflectCONTROL acquièrent et contrôlent des surfaces hautement réfléchissantes ainsi que partiellement transparentes avec une grande précision. Selon le modèle de capteur, ils permettent des inspections 2D haute résolution pour la détection de défauts ou des mesures 3D surfaciques pour un contrôle précis de la forme et de la géométrie. La déflectométrie à mesure de phase rend visibles de manière fiable même les plus petits défauts et écarts de forme.
Le spectre d’applications s’étend du contrôle de surface industriel à la mesure automatisée des wafers d’un diamètre allant jusqu’à 300 mm. Les tâches de contrôle exigeantes peuvent ainsi être intégrées dans le processus de production de manière efficace, reproductible et sans contact.
Inspection de surface 2D et 3D précise pour des tâches de mesure et de contrôle industrielles exigeantes.
Caractéristiques
- Inspection 2D et 3D sans contact des surfaces hautement réfléchissantes
- Détection de défauts haute résolution et mesure précise de la forme
- Acquisition 3D surfacique des pièces et wafers jusqu’à 300 mm
- Temps de mesure courts pour un contrôle qualité efficace
- Précision de mesure élevée pour des contrôles de surface exigeants
- Intégration flexible dans les processus de contrôle et de production automatisés
- Logiciel 3DInspect performant
Mesure 2D et 3D sans contact par déflectométrie
L’objet de mesure est éclairé sans contact avec des motifs de franges définis. La surface hautement réfléchissante réfléchit ces motifs vers deux caméras qui détectent même les plus petits changements et déformations des franges.
À partir des séquences d’images acquises, le capteur génère des images de phase 2D haute résolution. Celles-ci permettent la détection et l’évaluation fiables des défauts de surface. Sur les modèles reflectCONTROL compatibles 3D, les informations de phase servent en outre à calculer un nuage de points tridimensionnel, c’est-à-dire une topographie de surface.
Selon le modèle de capteur, les données de mesure peuvent être traitées ultérieurement pour la détection automatisée de défauts, l’inspection de surface et la mesure 3D de la forme.
Nouveau : reflectCONTROL RCS3500-300 3D-Wafer-Warpage
Capteur pour la mesure du gauchissement et de la planéité 3D des wafers avec une plage de mesure de 300 mm
Acquisition du wafer complet en une seule prise – sans erreurs de stitching et optimisée pour les surfaces de wafers miroitantes. Pour des mesures 3D rapides et précises du gauchissement et de la planéité, une prévention fiable des collisions dans le process en aval ainsi qu’une utilisation dans les processus de contrôle near-line et en ligne.
Contrôle de surface précis avec des capteurs de déflectométrie
Les capteurs de déflectométrie de Micro-Epsilon sont utilisés pour le contrôle haute précision des surfaces miroitantes et réfléchissantes. Ils détectent les plus petits écarts de forme, ondulations et défauts de surface locaux sans contact et avec une résolution élevée. Les applications typiques se trouvent entre autres dans l’industrie des semi-conducteurs, pour les composants optiques, les surfaces de verre, les écrans ainsi que les pièces peintes ou polies.
Les capteurs permettent aussi bien le contrôle qualité de composants individuels que l’inspection automatisée en ligne dans la production. Les défauts peuvent ainsi être détectés à un stade précoce, les rebuts et reprises réduits et une qualité de produit constamment élevée assurée.
3DInspect - Logiciel performant pour le paramétrage et l’évaluation
Interface utilisateur intuitive
Paramétrage simple et création confortable de programmes de mesure 3D permettent une configuration rapide et efficace des séquences de mesure.
Fonctionnement en ligne
L’interface d’automatisation intégrée enregistre les programmes de mesure et permet des mesures automatisées sans unités de commande supplémentaires.
Journalisation et stockage
des données 3D directement dans le logiciel
Un seul logiciel pour tous les capteurs 3D de Micro-Epsilon
Paramétrage
- Réglage des paramètres de capteur optimaux pour la tâche de mesure correspondante
- Chargement de jeux de paramètres
- Sélection de la zone à mesurer
Prétraitement des données
- Adaptation du nuage de points avant l’évaluation, p.ex. pour un positionnement reproductible du nuage de points.
- Application de filtres ou affinage pour mettre en évidence des caractéristiques, éliminer les points non pertinents ou créer des coupes.
Évaluation
- Plus de 80 programmes de mesure pour le calcul des valeurs de mesure souhaitées
- Évaluation et mesure des coupes créées précédemment
- Combinaison de plusieurs programmes pour des tâches de mesure complexes
Sortie des résultats de mesure
- Évaluation directe d’une valeur de mesure comme résultat (valeur OK/NOK). Sortie automatisée des valeurs de mesure ou des résultats évalués (nécessite la licence « Automatisation »)
- Signaux de commutation et sortie bus de terrain
