Interféromètre à lumière blanche pour la mesure de distance absolue avec une résolution subnanométrique
Le nouvel interféromètre à lumière blanche IMS5600-DS est utilisé pour la mesure de distance avec la plus grande précision. Le contrôleur doté d’un réglage spécial avec une évaluation intelligente, permet des mesures absolues avec une résolution subnanométrique. L’interféromètre est utilisé pour mesurer des tâches exigeant la plus grande précision, par exemple dans l’électronique et la production de semi-conducteurs.
Caractéristiques
- Mesure de la distance avec une précision subnanométrique
- Meilleur de sa catégorie : résolution 30 picomètres
- Mesure absolue, adaptée pour mesurer p.ex. les profils de dénivelés
- Capteurs compacts et robustes avec un grand écartement de base
- Fréquence de mesure jusqu’à 6 kHz pour des mesures rapides
- Configuration conviviale par le biais de l’interface web
- Capteurs et câbles adaptés au vide
- Capteurs compacts également avec trajectoire de rayon de 90°
Mesure de la distance absolue pour une plage de mesure et un écartement de base élevés
Le IMS5600-DS est utilisé pour la mesure de déplacement et de distance de haute précision. Le système fournit des valeurs de mesure absolues et peut donc également être utilisé pour la mesure de la distance des profils de dénivelés. Grâce à la mesure absolue, les dénivelés sont échantillonnés avec une grande stabilité du signal. Lors de mesures sur des objets en mouvement, les différences de niveau des talons, des dénivelés et des cavités peuvent ainsi être détectées de manière fiable. Le système de mesure offre une résolution subnanométrique avec un grand écartement de base par rapport à la plage de mesure.
Mesure de distance multi-peak
Lors de la mesure de distance multi-peak sur des objets transparents, jusqu'à 14 valeurs de distance sont évaluées simultanément. Cela permet par exemple de déterminer la distance entre le verre et une plaque de support. Au-dessus, le contrôleur peut calculer l'épaisseur du verre à partir des valeurs de distance.
Conçu pour des mesures de distance à haute résolution sous vide
Les interféromètres de la série IMS5600-DS peuvent être utilisés pour des tâches de mesure dans des environnements sous vide et des salles blanches. Les interféromètres atteignent ici une résolution de l’ordre domaine subnanométrique. Pour les tâches de mesure sous vide, Micro-Epsilon offre des capteurs, des câbles et des passages de câble appropriés. Ces capteurs et câbles fortement exempts de particules sont utilisés de la salle blanche à l’ultravide.
Des mesures de distance stables avec une précision maximale
Le contrôleur peut être installé dans l’armoire de commande en utilisant un montage sur rail DIN et fournit des résultats de mesure très stables grâce à la compensation active de la température et au refroidissement passif. Les capteurs compacts sont très peu encombrants et disposent de câbles à fibres optiques très souples. Des longueurs de câble prolongées jusqu’à 10 m permettent d’obtenir une grande distance entre le capteur et le contrôleur. Le capteur peut être aligné facilement et rapidement grâce au laser pilote intégré. La mise en service et le paramétrage s’effectuent de manière pratique via une interface web et ne nécessitent aucune installation de logiciel.
Mesure sur de nombreuses surfaces
La méthode de mesure interférométrique permet d’effectuer des mesures sur de nombreuses surfaces et de réaliser des mesures de distance de haute précision sur les métaux, les plastiques et le verre réfléchissants.
NOUVEAU : capteurs également avec trajectoire de rayon 90°
Grâce à leur design compact, les capteurs peuvent être également intégrés dans les espaces d’installation réduits. Les modèles avec trajectoire de rayon à 90° nécessitent nettement moins de profondeur d’installation.
De nombreux modèles pour des tâches de mesure exigeantes
| Modèle | Plage de mesure / Début de la plage de mesure |
Linéarité | Nombre de couches mesurables |
Domaines d'application |
|---|---|---|---|---|
| IMS5600-DS0,5/90/VAC | 1,5 mm /ca. 0,5 mm | ±10 nm | - | Mesure de distance de haute précision dans un environnement de salle blanche et sous vide, par ex. mesure sur des wafers revêtus. La variante non magnétique en titane UHV permet une utilisation dans des champs magnétiques puissants, par exemple dans la technique médicale (microscope à spin nucléaire ou à faisceau d'électrons) |
| IMS5600-DS10/90/VAC | 1,5 mm / 10 mm | |||
| IMS5600-DS19 | 2,1 mm / env. 19 mm | ±10 nm | - |
Mesures de distance de haute précision dans les processus industriels, par ex. dans la fabrication de précision |
| IMS5600-DS19/VAC |
Tâches de positionnement précises et mesures de distance dans des environnements de salle blanche et de vide, par ex. dans la production d'écrans pour le positionnement de masques |
|||
| IMS5600MP-DS19 | Mesure de distance : 2,1 mm / env. 19 mm Mesure d'épaisseur : 0,01 ... 1,3 mm (pour BK7, n=1,5) / env. 19 mm |
±10 nm pour la première distance ±100 nm pour chaque distance supplémentaire |
Jusqu'à 13 couches |
Mesures de distance et d'épaisseur de haute précision dans les processus industriels, par ex. dans la production de semi-conducteurs pour déterminer l'épaisseur des couches sur les wafers ou lors de la fabrication de LED |
| IMS5600MP-DS19/VAC | Mesures de distance et d'épaisseur de haute précision dans les environnements de salle blanche et de vide par ex. dans la production de semi-conducteurs pour mesurer la position et les dimensions des interstices sur les masques et les wafers |
Unités d'interfaces et de calcul
Interfaces modernes pour l’intégration dans des machines et des installations
Le contrôleur dispose d’interfaces intégrées telles que Ethernet, EtherCAT et RS422 ainsi que des connexions d’encodeur, de sorties analogiques, d’entrées de synchronisation et d’entrées/sorties numériques additionnelles. PROFINET et Ethernet/IP sont disponibles grâce aux modules d’interface Micro-Epsilon. Cela permet d’intégrer l’interféromètre dans tous les systèmes de commande et programmes de production.
