Interféromètre à lumière blanche pour une mesure d’épaisseur stable avec une précision submicrométrique
Le tout dernier interféromètre à lumière blanche IMS5400-TH ouvre de nouvelles perspectives dans la mesure industrielle de l’épaisseur. Le contrôleur dispose d’une évaluation intelligente et permet de mesurer l’épaisseur des objets transparents avec la plus grande précision.
Caractéristiques
- Mesure de l’épaisseur au nanomètre près, même en cas de fluctuations de la distance et de vibrations des cibles
- Mesure stable à grande distance, même de cibles à revêtement antireflets
- Capteurs optimisés pour l’industrie avec boîtier métallique robuste et câbles flexibles
- Taux de mesure jusqu’à 6 kHz pour des mesures rapides
- Configuration conviviale par le biais de l’interface web
Mesure de l’épaisseur stable avec des distances de mesure fluctuantes
L’interféromètre à lumière blanche IMS5400-TH est utilisé pour des mesures d’épaisseur très précises à une distance relativement grande. Un avantage décisif est la mesure indépendante de la distance, qui permet d’obtenir une valeur d’épaisseur au nanomètre près, même avec des objets en mouvement. La grande plage de mesure de l’épaisseur permet de mesurer les couches minces, le verre plat et les feuilles. L’interféromètre à lumière blanche qui fonctionne avec un SLED dans le proche infrarouge, permet aussi de mesurer l’épaisseur du verre à revêtement antireflets.
Mesure d’épaisseur multicouche
La variante de contrôleur multi-peak permet d'évaluer simultanément plusieurs peaks de signaux. Il est ainsi possible de réaliser une mesure d'épaisseur multicouche d'objets transparents ou de verres feuilletés. Le contrôleur donne les valeurs d'épaisseur avec une stabilité maximale, indépendamment de leur position.
Idéal pour les environnements industriels
Des capteurs robustes et un contrôleur dans un boîtier métallique prédestinent le système à l’intégration dans les lignes de production. Le contrôleur peut être installé dans l’armoire de commande en utilisant un montage sur rail DIN et fournit des résultats de mesure très stables grâce à la compensation active de la température et au refroidissement passif. Les capteurs compacts sont très peu encombrants et disposent de câbles à fibres optiques très souples. Des longueurs de câble prolongées jusqu’à 10 m permettent d’obtenir une grande distance entre le capteur et le contrôleur. Le capteur peut être aligné facilement et rapidement grâce au laser pilote intégré. La mise en service et le paramétrage s’effectuent de manière pratique via une interface web et ne nécessitent aucune installation de logiciel.
Numerous models for demanding measurement tasks
| Modèle | Plage de mesure / Début de la plage de mesure |
Linéarité |
Nombre de couches mesurables |
Domaines d'application |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-TH45 | 0,035 ... 1,5 mm (pour BK7, n=1,5) / env. 41,5 mm avec une plage de travail d'env. 7 mm |
±100 nm | 1 couche | Mesure d'épaisseur industrielle en ligne par ex. dans la production de verre plat monocouche |
| IMS5400-TH45/VAC | Mesures d'épaisseur en ligne dans des environnements de salle blanche et sous vide, par ex. dans la production d'écrans pour la mesure de fente sous vide | |||
| IMS5400MP-TH45 | ±100 nm | Jusqu'à 5 couches | Mesure industrielle multicouche en ligne, par ex. dans la production de verre plat multicouche | |
| IMS5400MP-TH45/VAC | Mesures multicouches en ligne dans des environnements de salle blanche, par ex. dans la production d'écrans pour la mesure multicouche sous vide | |||
| IMS5400-TH70 | 0,035 ... 1,5 mm (pour BK7, n=1,5) / env. 68 mm avec une plage de travail d'env. 4,2 mm |
±200 nm | 1 couche | Mesure industrielle d'épaisseur en ligne, par ex. dans la production de films monocouches |
| IMS5400MP-TH70 | ±200 nm | Jusqu'à 5 couches | Mesure industrielle multicouche en ligne, par ex. dans la production de films multicouches |
Unités d'interfaces et de calcul
Interfaces modernes pour l’intégration dans des machines et des installations
Le contrôleur dispose d’interfaces intégrées telles que Ethernet, EtherCAT et RS422 ainsi que des connexions d’encodeur, de sorties analogiques, d’entrées de synchronisation et d’entrées/sorties numériques additionnelles. PROFINET et Ethernet/IP sont disponibles grâce aux modules d’interface Micro-Epsilon. Cela permet d’intégrer l’interféromètre dans tous les systèmes de commande et programmes de production.
