Contrôle de l'inclinaison des porte-lentilles

Les capteurs de déplacement capacitifs mesurent l'inclinaison des porte-lentilles avec une précision de l'ordre du nanomètre. Grâce à la haute précision des mesures, une projection reproductible est assurée. Plusieurs capteurs mesurent sur le support métallique. Grâce à l'extrême résolution, une exposition exacte des wafers est possible.