Interféromètre à lumière blanche pour la mesure de distance absolue avec une précision subnanométrique

Mesure de distance à resolution nanométrique
interferoMETER IMS5600-DS
Mesure de distance à resolution nanométrique
Nouveau:

Le nouvel interféromètre à lumière blanche IMS5600-DS est utilisé pour la mesure de distance avec la plus grande précision. Le contrôleur doté d’un réglage spécial avec une évaluation intelligente, permet des mesures absolues avec une résolution subnanométrique. L’interféromètre est utilisé pour mesurer des tâches exigeant la plus grande précision, par exemple dans l’électronique et la production de semi-conducteurs.

Caractéristiques
  • Mesure de la distance avec une précision subnanométrique
  • Meilleur de sa catégorie : résolution < 30 picomètres
  • Mesure absolue, adaptée pour mesurer p.ex. les profils de dénivelés
  • Capteurs compacts et robustes avec un grand écartement de base
  • Fréquence de mesure jusqu’à 6 kHz pour des mesures rapides
  • Configuration conviviale par le biais de l’interface web
  • Capteurs et câbles adaptés au vide

Mesure de la distance absolue pour une plage de mesure et un écartement de base élevés

Le IMS5600-DS est utilisé pour la mesure de déplacement et de distance de haute précision. Le système fournit des valeurs de mesure absolues et peut donc également être utilisé pour la mesure de la distance des profils de dénivelés. Grâce à la mesure absolue, les dénivelés sont échantillonnés avec une grande stabilité du signal. Lors de mesures sur des objets en mouvement, les différences de niveau des talons, des dénivelés et des cavités peuvent ainsi être détectées de manière fiable. Le système de mesure offre une résolution subnanométrique avec un grand écartement de base par rapport à la plage de mesure.

Mesure de distance multi-peak

Lors de la mesure de distance multi-peak sur des objets transparents, jusqu'à 14 valeurs de distance sont évaluées simultanément. Cela permet par exemple de déterminer la distance entre le verre et une plaque de support. Au-dessus, le contrôleur peut calculer l'épaisseur du verre à partir des valeurs de distance.

Conçu pour des mesures de distance à haute résolution sous vide

Les interféromètres de la série IMS5600-DS peuvent être utilisés pour des tâches de mesure dans des environnements sous vide et des salles blanches. Les interféromètres atteignent ici une résolution de l’ordre domaine subnanométrique. Pour les tâches de mesure sous vide, Micro-Epsilon offre des capteurs, des câbles et des passages de câble appropriés. Ces capteurs et câbles fortement exempts de particules sont utilisés de la salle blanche à l’ultravide.

Des mesures de distance stables avec une précision maximale

Le contrôleur peut être installé dans l’armoire de commande en utilisant un montage sur rail DIN et fournit des résultats de mesure très stables grâce à la compensation active de la température et au refroidissement passif. Les capteurs compacts sont très peu encombrants et disposent de câbles à fibres optiques très souples. Des longueurs de câble prolongées jusqu’à 10 m permettent d’obtenir une grande distance entre le capteur et le contrôleur. Le capteur peut être aligné facilement et rapidement grâce au laser pilote intégré. La mise en service et le paramétrage s’effectuent de manière pratique via une interface web et ne nécessitent aucune installation de logiciel.

Mesure sur de nombreuses surfaces

La méthode de mesure interférométrique permet d’effectuer des mesures sur de nombreuses surfaces et de réaliser des mesures de distance de haute précision sur les métaux, les plastiques et le verre réfléchissants.

De nombreux modèles pour des tâches de mesure exigeantes

ModèlePlage de mesure /
Début de la plage de mesure
LinéaritéNombre de couches mesurables
Domaines d'application
IMS5600-DS192,1 mm / env. 19 mm±10 nm-

Mesures de distance de haute précision dans les processus industriels, par ex. dans la fabrication de précision

IMS5600-DS19/VAC

Tâches de positionnement précises et mesures de distance dans des environnements de salle blanche et de vide, par ex. dans la production d'écrans pour le positionnement de masques

IMS5600MP-DS19Mesure de distance :
2,1 mm / env. 19 mm
Mesure d'épaisseur :
0,01 ... 1,3 mm (pour BK7, n=1,5) / env. 19 mm
±10 nm pour la première distance
±100 nm pour chaque distance supplémentaire
Jusqu'à 13 couchesMesures de distance et d'épaisseur de haute précision dans les processus industriels, par ex. dans la production de semi-conducteurs pour déterminer l'épaisseur des couches sur les wafers ou lors de la fabrication de LED
IMS5600MP-DS19/VACMesures de distance et d'épaisseur de haute précision dans les environnements de salle blanche et de vide
par ex. dans la production de semi-conducteurs pour mesurer la position et les dimensions des interstices sur les masques et les wafers

Des interfaces modernes pour l’intégration dans les machines et les systèmes

Le contrôleur dispose des interfaces intégrées telles que Ethernet, EtherCAT et RS422 ainsi que des connexions supplémentaires d’encodeur, des sorties analogiques, des entrées de synchronisation et des E/S numériques. PROFINET et EthernetIP sont disponibles par les modules d'interface de Micro-Epsilon. Cela permet d’intégrer l’interféromètre dans tous les systèmes de contrôle et les programmes de production.

Analog RS422 Ethernet Ethercat Profinet EthernetIP

Micro-Epsilon France S.a.r.l.
14-16 rue des Gaudines / Strategy Center
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