Interféromètre à lumière blanche pour la mesure de distance absolue avec une résolution subnanométrique

interferoMETER IMS5600-DS

Mesure de distance à resolution nanométrique

Le nouvel interféromètre à lumière blanche IMS5600-DS est utilisé pour la mesure de distance avec la plus grande précision. Le contrôleur doté d’un réglage spécial avec une évaluation intelligente, permet des mesures absolues avec une résolution subnanométrique. L’interféromètre est utilisé pour mesurer des tâches exigeant la plus grande précision, par exemple dans l’électronique et la production de semi-conducteurs.

Mesure de la distance absolue pour une plage de mesure et un écartement de base élevés

Le IMS5600-DS est utilisé pour la mesure de déplacement et de distance de haute précision. Le système fournit des valeurs de mesure absolues et peut donc également être utilisé pour la mesure de la distance des profils de dénivelés. Grâce à la mesure absolue, les dénivelés sont échantillonnés avec une grande stabilité du signal. Lors de mesures sur des objets en mouvement, les différences de niveau des talons, des dénivelés et des cavités peuvent ainsi être détectées de manière fiable. Le système de mesure offre une résolution subnanométrique avec un grand écartement de base par rapport à la plage de mesure.

Mesure de distance multi-peak

Lors de la mesure de distance multi-peak sur des objets transparents, jusqu'à 14 valeurs de distance sont évaluées simultanément. Cela permet par exemple de déterminer la distance entre le verre et une plaque de support. Au-dessus, le contrôleur peut calculer l'épaisseur du verre à partir des valeurs de distance.

Conçu pour des mesures de distance à haute résolution sous vide

Les interféromètres de la série IMS5600-DS peuvent être utilisés pour des tâches de mesure dans des environnements sous vide et des salles blanches. Les interféromètres atteignent ici une résolution de l’ordre domaine subnanométrique. Pour les tâches de mesure sous vide, Micro-Epsilon offre des capteurs, des câbles et des passages de câble appropriés. Ces capteurs et câbles fortement exempts de particules sont utilisés de la salle blanche à l’ultravide.

Des mesures de distance stables avec une précision maximale

Le contrôleur peut être installé dans l’armoire de commande en utilisant un montage sur rail DIN et fournit des résultats de mesure très stables grâce à la compensation active de la température et au refroidissement passif. Les capteurs compacts sont très peu encombrants et disposent de câbles à fibres optiques très souples. Des longueurs de câble prolongées jusqu’à 10 m permettent d’obtenir une grande distance entre le capteur et le contrôleur. Le capteur peut être aligné facilement et rapidement grâce au laser pilote intégré. La mise en service et le paramétrage s’effectuent de manière pratique via une interface web et ne nécessitent aucune installation de logiciel.

Mesure sur de nombreuses surfaces

La méthode de mesure interférométrique permet d’effectuer des mesures sur de nombreuses surfaces et de réaliser des mesures de distance de haute précision sur les métaux, les plastiques et le verre réfléchissants.

De nombreux modèles pour des tâches de mesure exigeantes

Interfaces modernes pour l’intégration dans des machines et des installations

Le contrôleur dispose d’interfaces intégrées telles que Ethernet, EtherCAT et RS422 ainsi que des connexions d’encodeur, de sorties analogiques, d’entrées de synchronisation et d’entrées/sorties numériques additionnelles. PROFINET et Ethernet/IP sont disponibles grâce aux modules d’interface Micro-Epsilon. Cela permet d’intégrer l’interféromètre dans tous les systèmes de commande et programmes de production.