Contrôle de l'inclinaison des porte-lentilles

Les capteurs de déplacement capacitifs mesurent l'inclinaison des porte-lentilles avec une précision de l'ordre du nanomètre. Grâce à la haute précision des mesures, une projection reproductible est assurée. Plusieurs capteurs mesurent sur le support métallique. Grâce à l'extrême résolution, une exposition exacte des wafers est possible. 

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