Mesure d’épaisseur des wafers

Les capteurs confocaux chromatiques mesurent l’écart d’épaisseur ou l’épaisseur du wafer de chaque côté. Le profil d’épaisseur du wafer permet également de déterminer des déformations et des gauchissements. Grâce à la fréquence de mesure élevée, la mesure d’épaisseur d’un wafer peut s’effectuer dans des temps de cycle très courts.

Micro-Epsilon France S.a.r.l.
14-16 rue des Gaudines / Strategy Center
78100 Saint Germain en Laye, France
france@micro-epsilon.com
+33 139 102 100
+33 139 739 657