Mesure d’épaisseur des wafers

Les capteurs confocaux chromatiques mesurent l’écart d’épaisseur ou l’épaisseur du wafer de chaque côté. Le profil d’épaisseur du wafer permet également de déterminer des déformations et des gauchissements. Grâce à la fréquence de mesure élevée, la mesure d’épaisseur d’un wafer peut s’effectuer dans des temps de cycle très courts.