Détection de la forme 3D des plaquettes

Les systèmes de déflectométrie reflectCONTROL sont utilisés pour mesurer la planéité des wafers de 150 mm. Ceux-ci enregistrent la planéité en une seule prise. Pour cela, les capteurs projettent sur le wafer un motif de franges, qui est enregistré par les caméras intégrées. Les déviations géométriques sur le wafer provoquent une distorsion du motif de franges, qui est évaluée par le logiciel. Le capteur fournit une représentation 3D très précise de la surface réfléchissante, permettant de déterminer la topologie avec une précision au micromètre près.