Contrôle des fissures et des ruptures

Les capteurs confocaux chromatiques de Micro-Epsilon sont utilisés pour déterminer les fissures et autres défauts sur le wafer. Grâce à la rapide compensation de surface dans le contrôleur, les surfaces présentant des variations de réflectivité peuvent être détectées de manière fiable. Le spot de lumière extrêmement petit et la haute résolution permettent de détecter aisément même les moindres irrégularités sur le wafer.