Positionnement du porte-plaquette avec des interféromètres à lumière blanche

Les interféromètres à lumière blanche de la série interferoMETER IMS5600 de Micro-Epsilon sont utilisés pour surveiller la position du porte-plaquette. Ils y mesurent les mouvements XYZ par des accélérations extrêmement élevées. Les systèmes de mesure optique de haute précision atteignent une résolution de l'ordre du nanomètre en permettant le positionnement correct du wafer au nanomètre près. Grâce à des têtes de mesure utilisables en vide, les systèmes de mesure peuvent être utilisés dans le vide et sont insensibles aux puissants champs magnétiques.