Interféromètre à lumière blanche pour une mesure d’épaisseur stable avec une précision submicrométrique

Mesure d'épaisseur hautement précise des verres et des films les plus minces
interferoMETER IMS5400-TH
Mesure d'épaisseur hautement précise des verres et des films les plus minces
Nouveau:

Le tout dernier interféromètre à lumière blanche IMS5400-TH ouvre de nouvelles perspectives dans la mesure industrielle de l’épaisseur. Le contrôleur dispose d’une évaluation intelligente et permet de mesurer l’épaisseur des objets transparents avec la plus grande précision.

Caractéristiques
  • Mesure de l’épaisseur au nanomètre près, même en cas de fluctuations de la distance et de vibrations des cibles
  • Mesure stable à grande distance, même de cibles à revêtement antireflets
  • Capteurs optimisés pour l’industrie avec boîtier métallique robuste et câbles flexibles
  • Taux de mesure jusqu’à 6 kHz pour des mesures rapides
  • Configuration conviviale par le biais de l’interface web

Mesure de l’épaisseur stable avec des distances de mesure fluctuantes

L’interféromètre à lumière blanche IMS5400-TH est utilisé pour des mesures d’épaisseur très précises à une distance relativement grande. Un avantage décisif est la mesure indépendante de la distance, qui permet d’obtenir une valeur d’épaisseur au nanomètre près, même avec des objets en mouvement. La grande plage de mesure de l’épaisseur permet de mesurer les couches minces, le verre plat et les feuilles. L’interféromètre à lumière blanche qui fonctionne avec un SLED dans le proche infrarouge, permet aussi de mesurer l’épaisseur du verre à revêtement antireflets.

Plages de mesure de l’épaisseur</br>  Mesure de l’entrefer (avec indice de réfraction ~1) 50 µm à 2,1 mm</br>  Mesure de l’épaisseur du verre (avec indice de réfraction ~1,5) 35 µm à 1,4 mm
Plages de mesure de l’épaisseur
Mesure de l’entrefer (avec indice de réfraction ~1) 50 µm à 2,1 mm
Mesure de l’épaisseur du verre (avec indice de réfraction ~1,5) 35 µm à 1,4 mm

Mesure d’épaisseur multicouche

La variante de contrôleur multi-peak permet d'évaluer simultanément plusieurs peaks de signaux. Il est ainsi possible de réaliser une mesure d'épaisseur multicouche d'objets transparents ou de verres feuilletés. Le contrôleur donne les valeurs d'épaisseur avec une stabilité maximale, indépendamment de leur position.

Idéal pour les environnements industriels

Des capteurs robustes et un contrôleur dans un boîtier métallique prédestinent le système à l’intégration dans les lignes de production. Le contrôleur peut être installé dans l’armoire de commande en utilisant un montage sur rail DIN et fournit des résultats de mesure très stables grâce à la compensation active de la température et au refroidissement passif. Les capteurs compacts sont très peu encombrants et disposent de câbles à fibres optiques très souples. Des longueurs de câble prolongées jusqu’à 10 m permettent d’obtenir une grande distance entre le capteur et le contrôleur. Le capteur peut être aligné facilement et rapidement grâce au laser pilote intégré. La mise en service et le paramétrage s’effectuent de manière pratique via une interface web et ne nécessitent aucune installation de logiciel.

De nombreux modèles pour des tâches de mesure exigeantes

ModèlePlage de mesure /
Début de la plage de mesure
LinéaritéNombre de couches mesurables
Domaines d'application
IMS5400-TH450,035 ... 1,5 mm (pour BK7, n=1,5) /
env. 41,5 mm avec une plage de travail d'env. 7 mm
±100 nm1 coucheMesure d'épaisseur industrielle en ligne
par ex. dans la production de verre plat monocouche
IMS5400-TH45/VACMesures d'épaisseur en ligne dans des environnements de salle blanche et sous vide, par ex. dans la production d'écrans pour la mesure de fente sous vide
IMS5400MP-TH45±100 nmJusqu'à 5 couchesMesure industrielle multicouche en ligne
Par ex. dans la production de verre plat multicouche
IMS5400MP-TH45/VACMesures multicouches en ligne dans des environnements de salle blanche, par ex. dans la production d'écrans pour la mesure multicouche sous vide
IMS5400-TH700,035 ... 1,5 mm (pour BK7, n=1,5) /
env. 68 mm avec une plage de travail d'env. 4,2 mm
±200 nm1 coucheMesure industrielle d'épaisseur en ligne
par ex. dans la production de films monocouches
IMS5400MP-TH70±200 nmJusqu'à 5 couchesMesure industrielle multicouche en ligne
par ex. dans la production de films multicouches

Des interfaces modernes pour l’intégration dans les machines et les systèmes

Le contrôleur dispose des interfaces intégrées telles que Ethernet, EtherCAT et RS422 ainsi que des connexions supplémentaires d’encodeur, des sorties analogiques, des entrées de synchronisation et des E/S numériques. PROFINET et EthernetIP sont disponibles par les modules d'interface de Micro-Epsilon. Cela permet d’intégrer l’interféromètre dans tous les systèmes de contrôle et les programmes de production.

Analog RS422 Ethernet Ethercat Profinet EthernetIP

Micro-Epsilon France S.a.r.l.
14-16 rue des Gaudines / Strategy Center
78100 Saint Germain en Laye, France
france@micro-epsilon.com
+33 139 102 100
+33 139 739 657