Le plus haut niveau de précision est exigé pour la production de wafers semi-conducteurs. Une étape importante du processus est le rodage des pièces brutes, qui sont alors amenées à une épaisseur uniforme. Les interféromètres à lumière blanche de la série interferoMETER IMS5420 ont été développés pour contrôler l'épaisseur en continu.
Ils se composent chacun d'un capteur compact et d'un contrôleur logés dans un boîtier robuste adapté aux applications industrielles. Une régulation active de la température intégrée au contrôleur assure une grande stabilité de la mesure.
L'interféromètre est disponible comme système de mesure d'épaisseur ou comme système de mesure d'épaisseur multi-peak. Le système de mesure d'épaisseur multi-peak peut mesurer l'épaisseur de jusqu'à cinq couches, par exemple l'épaisseur du wafer, la lame d’air, le film et les revêtements >50 µm. Pour les mesures d'épaisseur dans des conditions environnementales difficiles, le contrôleur IMS5420/IP67 est disponible avec IP67 et un boîtier en acier inoxydable ainsi que des fibres optiques et des capteurs adaptés.
Avantages
- Mesure d'épaisseur au nanomètre près de wafers non dopés, dopés et fortement dopés
- Multi-peak : détection jusqu'à 5 couches avec une épaisseur SI de 0,05 à 1,05 mm
- Haute résolution sur l'axe z de 1 nm
- Fréquence de mesure jusqu’à 6 kHz pour des mesures rapides
- Ethernet / EtherCAT / RS422 / PROFINET / EtherNet/IP
- Paramétrage simple via l'interface web