Reconnaissance et mesure des stries

Pour la détection et la mesure automatiques des stries, les capteurs confocaux chromatiques de Micro-Epsilon sont utilisés. La compensation de surface rapide dans le contrôleur règle les cycles d’exposition afin d’assurer une stabilité de signal maximale sur des surfaces présentant différentes propriétés de réflexion. Grâce à l’inclinaison à grand angle et au petit point lumineux, les capteurs confocaux de Micro-Epsilon permettent une détection fiable des stries et des autres cavités sur le wafer.