Reconnaissance et mesure des bumps sur les wafers de silicium

Les capteurs de déplacement confocaux chromatiques de Micro-Epsilon sont utilisés pour l’inspection des bumps. Ces capteurs projettent une petite tache lumineuse sur le wafer et grâce à la haute résolution, ils détectent parfaitement les plus petits composants et structures. La forme et la dimension des bumps sont ainsi déterminées en toute fiabilité pour la mise en contact.