Positionnement du porte-plaquette

Les capteurs sans contact de Micro-Epsilon sont utilisés pour la surveillance du porte-plaquette pour les wafers (anglais: wafer stage) où ils mesurent les mouvements XYZ hautement dynamiques par des accélérations élevées du positionnement du wafer. Les capteurs capacitifs et inductifs (à courants de Foucault) atteignent une résolution de l’ordre du nanomètre pour l’exposition, en permettant le positionnement correct du wafer au nanomètre près. Leur technologie innovante permet l’utilisation sous vide dans les champs hautement magnétiques.