Interféromètre à lumière blanche de haute précision pour la mesure sans contact de la distance et de l’épaisseur

interferoMETER IMS5400-DS

Les interféromètres à lumière blanche innovants de Micro-Epsilon créent une nouvelle référence en matière de mesure de distance et d’épaisseur de haute précision. Les capteurs permettent d’obtenir des résultats de mesure stables avec une résolution inférieure au nanomètre en offrant une plage de mesure et un écartement de base relativement grand. Les interféromètres sont disponibles en 3 séries : le IMS5400-DS pour la mesure de distance industrielle de haute précision, le IMS5400-TH pour la mesure d’épaisseur précise et le IMS5600-DS utilisable en vide pour les mesures de distance avec une résolution de l’ordre du picomètre.

Caractéristiques
  • Mesure de la distance absolue avec une précision de l’ordre du nanomètre
  • Mesurer l’épaisseur indépendamment de la distance
  • Meilleur de sa classe : résolution < 30 picomètres (IMS5600-DS)
  • Stabilité élevée du signal grâce à de nouveaux algorithmes d’évaluation et à une compensation active de la température
  • Large écartement de base
  • Paramétrage simple via l’interface web
  • Capteurs optimisés pour l’industrie avec boîtier métallique robuste et câbles flexibles
  • Capteurs et câbles adaptés au vide

Interféromètre pour l’industrie et l’automatisation

L’interféromètre industriel à lumière blanche se compose d’un capteur robuste, d’un câble de capteur très flexible et d’un contrôleur dans un boîtier en aluminium, qui peut être monté sur un rail DIN. Le contrôleur dispose d’un contrôle actif de la température, qui compense les variations de la température ambiante et atteint ainsi une excellente stabilité de la température. Grâce à sa conception robuste, l’interféromètre peut également être intégré dans des environnements industriels. Des longueurs de câble prolongées jusqu’à 10 m permettent d’obtenir de grandes distances entre le contrôleur et le capteur. Pour les tâches de mesure dans les salles blanches et sous vide, des capteurs, des câbles et des passages de câble utilisables en vide sont disponibles.

Adaptateur de montage réglable pour l'alignement du capteur

Pour obtenir une précision maximale, les capteurs confocaux doivent être alignés aussi perpendiculairement que possible par rapport à la cible. Grâce à l’adaptateur de montage réglable, tous les capteurs confocalDT peuvent être alignés de manière optimale sur l’objet de mesure. Vous pouvez aligner le capteur après le montage dans la machine. L'adaptateur industriel permet le déplacement dans les axes X et Y ainsi que l'inclinaison du capteur par rapport à l'objet de mesure.

Petit spot de lumière pour mesurer les plus petits détails et structures

Les capteurs génèrent un petit point lumineux sur toute la plage de mesure. Le diamètre du spot de lumière n’est que de 10 µm et permet la détection de petits détails tels que les structures sur les semi-conducteurs et les composants électroniques miniaturisés. Le point lumineux est visualisé par un laser pilote et facilite l’alignement du capteur.

Laser pilote breveté pour un positionnement simple du capteur

Les interféromètres à lumière blanche fonctionnent avec de la lumière infrarouge dans le spectre non visible (longueur d'onde d'environ 840 nm), ce qui signifie que la position de mesure n'est pas visible. Pour visualiser la position de mesure, les systèmes Micro-Epsilon sont équipés d'un laser pilote qui projette un point lumineux sur la position de mesure. En outre, le laser pilote utilise une méthode brevetée pour fournir un retour sur la distance en plus de la position de mesure. Si la cible est à la bonne distance de l'objet à mesurer et donc dans la plage de mesure, le laser pilote reste allumé. Si la cible est en dehors de la plage de mesure, le laser pilote clignote.

Maniement convivial via une interface web

La configuration du contrôleur et des capteurs est intégralement exécutée sans logiciel supplémentaire, par le biais d’une interface web conviviale. L’interface web est appelée via une connexion Ethernet et permet de régler rapidement et facilement, par exemple, les moyennes, la fréquence de mesure et les préréglages.

Des interfaces modernes pour l’intégration dans les machines et les systèmes

Le contrôleur dispose des interfaces intégrées telles que Ethernet, EtherCAT et RS422 ainsi que des connexions supplémentaires d’encodeur, des sorties analogiques, des entrées de synchronisation et des E/S numériques. PROFINET et EthernetIP sont disponibles par les modules d'interface de Micro-Epsilon. Cela permet d’intégrer l’interféromètre dans tous les systèmes de contrôle et les programmes de production.

Analog RS422 Ethernet Ethercat Profinet EthernetIP
Applications

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