Capteurs capacitifs permettent un ajustage de haute précision

Lors de la production des cellules solaires à couches minces, de multiples couches fonctionnelles dans un arrangement et une structuration définis sont appliquées sur des panneaux en verre de 3 m x 5 m dans des
grandes installations de revêtement. L’uniformité du revêtement dépend de beaucoup de paramètres de processus. Un facteur d’influence considérable est la distance entre les deux plaques en métal perforés agissant en tant que les électrodes. Il faut de les ajuster avec une précision de 50 µm sur la totalité de la surface. C’est pourquoi il convient d’assurer la précision du positionnement et de la correction de la courbure par le biais des étalonnages et d’essais en cours. Cette procédure consiste à mesurer la distance sous vide en étoile en cinq endroits. Un prestataire de service a jusqu’alors exécuté cette procédure à l’aide des palpeurs
mécaniques, coûteuses en temps et argent. L’entreprise LSA GmbH a développé une nouvelle solution sur la base des capteurs capacitifs de Micro-Epsilon que l’exploitant de l’installation peut utiliser lui-même.

Le capteur capacitif ainsi que le préamplificateur sont capsulés sous vide dans un boîtier de mesure qui permet de mesurer la distance entre les plaques. Cinq capteurs en tout, sont connectés avec le système à canaux multiples capaNCDT 6500. Les valeurs de mesure sont transmises par le biais de Ethernet.