Système de mesure capacitive à canaux multiples haute résolution
Les capteurs de déplacement capacitifs sont conçus pour les tâches de mesure à haute résolution. Le système à canaux multiples capaNCDT 6500 se prête parfaitement aux mesures fiables de l'ordre du subnanomètre. Le contrôleur offre un débit de données maximum de 7,8 kHz (numérique, avec jusqu'à quatre canaux) ou une fréquence limite de 8,5 kHz. En plus d'une sortie analogique, EtherCAT est disponible en tant qu’interface. EtherCAT permet une parfaite transmission de données en temps réel, l'intégration rapide dans l'environnement de mesure existant et la synchronisation de deux systèmes. La configuration du système capaNCDT 6500 est réalisée simplement par le biais d'un navigateur web.
Caractéristiques
- Plages de mesure (mm) : 0,05 | 0,2 | 0,5 | 0,8 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10
- Résolution max. 0,0375 µm
- Linéarité max. 0,01 µm
- Fréquence limite 8,5kHz (-3dB)
- Débit des données (sortie numérique) 7,8 kHz
- Sortie analogique (tension/courant)
- Ethernet, EtherCAT
- Modulaire - jusqu'à huit canaux de mesure
- Préamplificateur externe ou interne
- Configuration conviviale par le biais de l'interface web
La plus haute résolution
Le système capaNCDT 6500 est conçu pour les tâches de mesure demandant une résolution subnanométrique. Il dévoile ses atouts particulièrement lors des tâches de positionnement dans l'industrie du semi-conducteur ou dans les applications en laboratoire. Ce système modulaire est conçu pour des applications à plusieurs canaux. Jusqu'à 8 capteurs sont raccordés à l'électronique de traitement des signaux via un préamplificateur.
Système flexible à plusieurs canaux
Ce système de mesure se compose d'un contrôleur avec écran intégré et d'un démodulateur par capteur, qui sont regroupés dans un rack. Les deux racks de contrôleurs disponibles peuvent accueillir respectivement jusqu'à 2 et 8 démodulateurs. Un démodulateur puissant est disponible qui, selon l'application, fonctionne avec un préamplificateur intégré ou déporté. Ces deux versions sont compatibles avec tous les modèles de capteurs de Micro-Epsilon.
Maniement convivial via une interface web
La configuration du contrôleur et des capteurs est intégralement exécutée sans logiciel supplémentaire, par le biais d'une interface web conviviale. Cette interface web est connectée via Ethernet et permet de procéder à tous les paramétrages tels que les filtres, les liens arithmétiques et autres paramètres tels que les fonctions trigger, l'enregistrement des mesures et la linéarisation.
Le contrôleur capacitif DT6530 offre une résolution et une stabilité de signal maximum pour la mesure de déplacement capacitive. Le contrôleur fonctionne avec jusqu'à 8 canaux en mesurant non seulement contre les objets conducteurs mais également contre les isolants. En plus des sorties analogiques, Ethernet est disponible en tant qu'interface numérique. Le contrôleur DT6530 est compatible avec tous les capteurs et tous les câbles de la série capaNCDT.
Caractéristiques
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Résolution dynamique 0,002 d.p.m. (8,5 kHz)
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Fréquence limite 8,5 kHz (-3 dB) (commutable 20 Hz; 1 kHz; 8,5 kHz)
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Sortie analogique 0...10 V (protégé contre les courts-circuits), 4...20 mA; 0...20 mA
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Interface numérique Ethernet 24 Bit; EtherCAT
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Ajustage spécial : jusqu'au quadruple de la longueur de câble standard
Téléchargements
- Fiche technique capaNCDT 6500 (pdf, 1.20 Mo)
- Operating Instructions capaNCDT 6500 EtherCAT (pdf, 7.94 Mo)
- CAD file 3D-model DT6530/C rack, STEP (zip, 5.20 Mo)
- sensorTOOL V2.0 (exe, 17.56 Mo)
- Firmware update DT6530: SW1.4o / FW1.2i / Web-Build 20618 (zip, 1.23 Mo)
- Micro-Epsilon EtherCAT ESI file "IF1032" (zip, 37.43 Ko)
- MEDAQLib V5.2.0 (zip, 22.65 Mo)
Le cadre de montage a été conçu pour la mesure de l'épaisseur bilatérale avec des capteurs capacitifs et soutient l’orientation des points de mesure les uns par rapport aux autres. Le cadre permet de placer les capteurs exactement sur un axe, grâce à quoi les points de mesure sont disposés en coïncidence. Cela permet d’éviter une mesure décalée et d’obtenir un résultat de mesure fiable avec une précision maximale. Les cadres de montage permettent d'accueillir jusqu'à 6 capteurs. Deux capteurs forment respectivement un point de mesure.
Caractéristiques
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Mesure d’épaisseur à voies multiples permettant de traiter jusqu'à 3 endroits simultanément
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Mesure précise à des températures jusqu'à 100°C grâce à une stabilité thermique élevée
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Compatible avec le vide
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Construction extrêmement compacte
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Intégration et adaptation faciles dans des installations existantes
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Compatible avec les capteurs capaNCDT
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Conception étalonnable pour une grande précision dans la mesure de l’épaisseur