Capteurs de déplacement pour le positionnement nanométrique

Les plus petits déplacements, qu’ils soient statiques ou dynamiques sont générés en principe par des actionneurs piezo. Des capteurs de déplacement précis sont donc nécessaires à ces déplacements pour obtenir la précision exigée de l'ordre du nanomètre et du subnanomètre. Des résolutions et répétabilités jusqu'à 0,04 mm sont possibles. Les capteurs de déplacement capacitifs sans contact de Micro-Epsilon fournissent cette précision de l’ordre du subnanomètre. La série capaNCDT associe la précision à la stabilité requise.