Test dimensionnel des lingots de silicium

Les scanners de profil laser de Micro-Epsilon sont utilisés pour inspecter la géométrie des lingots de silicium. Ceux-ci enregistrent la géométrie intégrale des barres de silicium. Cela permet de déterminer les déviations géométriques du bloc de silicium avant la séparation. Les lingots sont souvent pourvus d'encoches d'orientation nécessaires à l' alignement des lingots. Des scanners à laser bleu de Micro-Epsilon sont utilisés pour vérifier la précision dimensionnelle du profil des encoches. Ceux-ci enregistrent le profil de l'encoche avec une grande précision.