Flexion des wafers

Des capteurs confocaux chromatiques scannent la surface des wafers pour en détecter la flexion et le gauchissement. Avec une fréquence de mesure de 70 kHz, les contrôleurs confocalDT permettent des mesures hautement dynamiques afin de tester les wafers dans des temps de cycle très courts.

Micro-Epsilon France S.a.r.l.
14-16 rue des Gaudines / Strategy Center
78100 Saint Germain en Laye, France
france@micro-epsilon.com
+33 139 102 100
+33 139 739 657