Positionnement au nanomètre près dans les machines de lithographie
Pour exposer des composants individuels sur la plaquette, les appareils de lithographie déplacent la plaquette à la position correspondante. Les capteurs de déplacement capacitifs mesurent la position de la course afin de permettre un positionnement au nanomètre près.
Technologie de capteurs recommandée
Capteurs capacitifs pour le déplacement, la distance et la positionContact
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