Capteurs de distance de haute précision pour l’industrie des semi-conducteurs
Métrologie à précision sub-nanométrique
Optimisés pour les applications de production en série des OEM
Pour la fabrication de machines à semi-conducteurs, l’optique et l’automatisation de la production
Capteurs de déplacement de haute précision pour les applications OEM de production en série de machines à semi-conducteurs
Les technologies de capteur Micro-Epsilon ont fait leurs preuves dans l’industrie des semi-conducteurs depuis de nombreuses années et offrent la solution optimale pour de nombreuses tâches de mesure : capteurs de haute précision pour les opérations complexes de front-end et de back-end ainsi que pour l’automatisation de la manipulation des wafers. Nos solutions de capteurs convainquent par leur précision, leur fiabilité et leur stabilité maximales, même dans les conditions les plus exigeantes des divers environnements de production.
Pourquoi Micro-Epsilon ?
- Plus de précision au picomètre près – Made in Germany
- Conseil, développement et production en interne
- Conjointement avec nos clients : Compétence en matière de qualité et de solutions pour la production en série et les OEM
- Savoir-faire éprouvé en technologie de mesure et dans la production de semi-conducteurs
- Processus de fabrication modernes pour les capteurs de déplacement et les systèmes de capteurs de haute précision
Technologies de capteurs exceptionnelles pour l’industrie des semi-conducteurs
Pour les applications de production en série des OEM, nous développons des capteurs adaptés selon vos spécifications. Des capteurs à courants de Foucault et des capteurs de déplacement capacitifs sont utilisés à cet effet – pour des performances maximales
Capteurs optimisés pour les applications de production en série des OEM
Pour les applications de production en série, nous modifions nos capteurs selon vos spécifications, par exemple en modifiant le câble, les matériaux et la conception aussi bien du capteur que du contrôleur. De plus, des matériaux de capteur spécifiques à l’application sont utilisés.
Spécifications typiques des capteurs pour les applications de production en série :
- Convient pour une utilisation sous vide : Matériaux à faible dégazage et technologies de fabrication conformes aux normes pour l’ultravide
- Technologies de connexion spécifiées
- Étiquetage et emballage conformes aux normes pour les semi-conducteurs
- Optimisation des performances pour une précision de mesure maximale
- Immunité maximale aux champs électromagnétiques
- Normes d’assurance qualité élevées à toutes les étapes du processus
Ready for Semicon – processus de production optimisés
Tous les capteurs et systèmes sont soumis à des processus de fabrication et d’essai complexes. Cela concerne entre autres la sélection et le placement des éléments électroniques, la construction mécanique ainsi que les technologies spéciales des procédés de fabrication.
Procédés de fabrication hautement spécialisés
- Technologie laser femtoseconde
- Brasage sous vide à haute température
- Fabrication mécanique de précision
- Essais de rodage
- Installations d’enrobage entièrement automatisées
- Passivation et revêtement de composants et d’assemblages de circuits
- Procédés de nettoyage spécialisés
Embedded Coil Technology
Pour les projets OEM particulièrement exigeants, nous recommandons d’utiliser la technologie ECT à bobine intégrée (Embedded Coil Technology) ou à condensateur intégré (Embedded Capacitor Technology). La conception miniaturisée des capteurs en matériau inorganique offre pratiquement tous les degrés de liberté pour la forme externe. Grâce au substrat en céramique, les capteurs sont mécaniquement robustes et extrêmement stables. Toute l’électronique d’évaluation peut au besoin être intégrée dans le capteur, ce qui permet d’adapter les capteurs ECT à des situations de conception spéciales. Les capteurs ECT sont adaptés aux conditions de fonctionnement les plus difficiles et ont fait leurs preuves dans de nombreuses applications.
Plus de précision pour l’industrie des semi-conducteurs
Micro-Epsilon offre la solution adaptée pour de nombreuses applications dans l’industrie des semi-conducteurs – du positionnement optique de haute précision et de l’alignement de la porte-plaquette aux liaisons hybrides. Nos capteurs sont utilisés aussi bien dans les processus front-end que back-end et séduisent par leur précision et leur fiabilité maximales.
