Positionnement du système de lentilles dans les machines de lithographie

Les capteurs de déplacement inductifs sans contact (courant de Foucault) mesurent la position des éléments de lentilles afin d’obtenir la plus grande précision d’image possible. En fonction de la structure du système, les capteurs de déplacement sont utilisés pour détecter jusqu’à 6 degrés de liberté. Grâce à la haute fréquence limite, les capteurs eddyNCDT peuvent également surveiller des mouvements hautement dynamiques des systèmes de lentilles.