Positionnement du porte-plaquette à l'aide des capteurs capacitifs

Les capteurs de déplacement capacitifs sont utilisés pour le positionnement fin dans le porte-plaquette. Les capteurs mesurent la position de la platine en différents points, ce qui peut être utilisé notamment pour un alignement de précision. Grâce à leur conception triaxiale, les capteurs sont insensibles aux champs électromagnétiques et atteignent une résolution de l'ordre du nanomètre. De plus, les capteurs assurent une stabilité à long terme extrêmement élevée. Ces capteurs sans contact sont conçus pour le domaine du vide et peuvent également être utilisés dans le domaine des UHV.