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Capteurs de haute précision IFS2407

Capteurs confocaux pour la mesure précise de distance, rugosité & épaisseur

Les capteurs confocalDT IFS2407 sont conçus pour la mesure de haute précision de la distance, de la rugosité et de l'épaisseur. Ces capteurs confocaux chromatiques offrent une ouverture numérique élevée et un petit diamètre de la tache lumineuse tout en tolèrant des grands angles de mesure, ce qui signifie que les capteurs peuvent également être utilisés pour la mesure de la rugosité. En outre, les capteurs convainquent par leur précision nanométrique.

confocalDT IFS2407-0,1

  • Plage de mesure (mm) : 0,1 mm
  • Linéarité : max. 0,05 µm
  • Résolution : max. 3 nm
  • Idéal pour les mesures de distance et de rugosité
  • Modèle lumineux pour les processus rapides (O.N. 0,7)
  • Spot de mesure miniature de 3 µm
  • Haute sensibilité et grand angle de mesure
  • Mesure d’épaisseur des objets transparents à partir de 5 µm

 

 

confocalDT IFS2407-0,8

  • Plage de mesure (mm): 0,8
  • Linéarité: max. 0,2 µm
  • Résolution: max. 24 nm
  • Petite tache lumineuse
  • Construction de capteur peu encombrante
  • Mesure de distance précise même sur les surfaces incurbées
  • Idéal pour la mesure d'épaisseur des couches minces

 

 

confocalDT IFS2407-1,5

  • Plage de mesure (mm): 1,5
  • Très petit spot de mesure à partir de 5,5 µm
  • Angle de mesure >± 43°
  • Modèle lumineux (NA >0,7)
  • Mesure hautement précise sur les surfaces incurvées et miroitantes
  • Mesure stable sur les surfaces structurées

confocalDT IFS2407-3

  • Plage de mesure (mm) : 3 mm
  • Linéarité : max. 0,75 µm
  • Résolution : max. 20 nm
  • Grand écartement de base d’env. 28 mm
  • Angle de mesure max. de ± 30°
  • Idéal pour les mesures sur les surfaces courbées et miroitantes

 

 

confocalDT IFS2407/90-0,3

  • Plage de mesure (mm): 0,3
  • Linéarité max. 0,75 µm
  • Résolution max. 10 nm
  • Idéal pour les mesures de déplacement et de rugosité
  • Spot de mesure miniature de 6 µm
  • Haute sensibilité et grand angle de mesure
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