Interféromètre à lumière blanche de haute précision pour la mesure nanométrique de la distance et de l’épaisseur

26/04/2022

Les interféromètres à lumière blanche de Micro-Epsilon sont adaptés à l’industrie et atteignent des résultats de mesure stables. Ils se composent d’un contrôleur, d’un capteur et d’un câble à fibre optique. Les capteurs équipés de boîtiers robustes métalliques et des câbles flexibles sont conçus pour les tâches de mesure industrielles.

Une simple connexion est possible via de nombreuses interfaces analogiques et numériques telles que Ethernet et EtherCAT. La configuration s’effectue via une interface web conviviale pour la mise en service et le paramétrage.

Pour la mesure d’épaisseur des matériaux transparents fins, le IMS5400-TH ultra-précis est utilisé. Un capteur saisit les valeurs de mesure indépendamment de la distance par rapport à l’objet de mesure ce qui permet d’ignorer le flottement et les irrégularités de positionnement. Grâce à la source de lumière proche infrarouge, il est également possible de mesurer l’épaisseur du verre à revêtement antireflets.

Les mesures de distance industrielles s’effectuent avec le système IMS5400-DS qui fournit des valeurs de mesure absolues en détectant également des dénivelées et des arêtes de manière fiable sans perte de signal.

Le IMS5600-DS est conçu pour les mesures de distance en salle blanche et le vide (jusqu’à l’ultravide). Un calibrage spécifique du contrôleur permet d’obtenir une résolution sub-nanométrique et une linéarité de < ±10 nm, nécessaire par exemple pour l’alignement des wafers ou le positionnement du porte-plaquette.

Avantages

• Précision de l’ordre du sub-nanomètre
• Construction robuste et optimisée pour l’industrie
• Mesure de distance absolue
• Mesure d’épaisseur indépendamment de la distance
• Haute stabilité de signal
• Capteurs et câbles adaptés au vide