interferoMETER : Des capteurs performants pour des exigences particulières

13/06/2023

Avec la série interferoMETER, Micro-Epsilon propose des interféromètres à lumière blanche innovants pour la mesure industrielle de distances et d'épaisseurs avec une précision maximale. Contrairement aux interféromètres laser, il est ainsi possible d'effectuer des mesures de distance absolues, même en cas de sauts de signaux. Des résolutions de l'ordre du picomètre sont ainsi réalisées. Trois nouveaux capteurs sont disponibles pour des mesures performantes dans des environnements particuliers.

interferoMETER IMP-DS0,5/90/VAC90°

Capteur de distance pour espaces de montage restreints
Plage de mesure 1,5 mm
Linéarité ±10 nm (en fonction du contrôleur)
Sortie radiale du faisceau
Modèles pour les applications sous vide jusqu'à UHV

interferoMETER IMP-DS19/VAC(001)

Capteur avec une stabilité thermique maximale
Plage de mesure 2,1 mm
Linéarité ±10 nm (en fonction du contrôleur)
Matériau du capteur en Invar
Modèle pour les applications sous vide jusqu'à UHV

interferoMETER IMP-DS1/VAC

Capteur de distance miniaturisé ø4 mm
Plage de mesure 1,1 mm
Linéarité ±10 nm (en fonction du contrôleur)
Câble intégré pour une installation facile
Modèle pour les applications sous vide jusqu'à UHV