Mesure d'épaisseur de haute précision de films électriquement conducteurs
Le système de mesure capacitif TFG6220 mesure avec une précision maximum l’épaisseur de films électriquement conducteurs, tels que des films de batteries. Un dispositif d’aspiration aspire l’objet à mesurer et le lisse, assurant ainsi une surface optimale et sans plis. De cette manière, la mesure peut être effectuée avec la précision la plus élevée possible. Le système est utilisé pour le contrôle qualité par échantillonnage hors ligne. Le TFG6220 est prémonté et prêt à l'emploi pour une mise en service rapide.
Caractéristiques
- Contrôle hors ligne rapide de l’épaisseur de film
- Résolution : 10 nm
- Haute répétabilité: 1 µm
- Épaisseur de film possible : < 1 mm
- Résultats de haute précision grâce au lissage automatique du film par le vide
- Un élément de mesure intégré permet un référencement simple avant la mesure d'épaisseur
- Utilisation et visualisation simples via le logiciel sensorTOOL en libre accès
Qualité fiable grâce à un contrôle précis
Le TFG6220 se compose d’un étrier de mesure avec capteurs et d’un contrôleur capaNCDT. L’épaisseur est calculée par la compensation entre les deux capteurs capacitifs. Un lissage automatique de l’objet à mesurer est effectué par un dispositif d’aspiration raccordé de façon externe. Ce procédé permet d’obtenir des résultats au micromètre près.
Le capteur capacitif (1) monté de façon fixe dans la partie supérieure de l’étrier de mesure mesure la distance par rapport à l’objet à mesurer (2). Grâce à l’élément de mesure (3), l’objet à mesurer est aspiré par vide et tendu sur une surface de référence. Le capteur capacitif dans la partie inférieure (4) effectue une mesure sur l’élément de mesure et compense le décalage mécanique de la surface d’appui.